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　　先进工艺发展到今天，要拼的东西越来越多，尤其是5nm之后，不论是设备、材料、成本甚至是工艺本身都将发生质的飞跃。　　例如在推进摩尔定律发展的过程中，EUV制造设备显得格外重要；FinFE......